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Angle of incidence effects
Snell の法則と Fresnel の公式に従って、性質の異なる2つの媒質の境界における平面波の反射と屈折はよく知られています。 誘電体の不連続面に入射した平面波は、2つの波に分割される。透過波は第2の媒質に進み、反射波は入射媒質に伝搬し、次の関係が導き出される。
n1 sin θi = n1 sin θr = n2 sin θt (2-30)
ここでθi、θr、θtは入射、反射、透過角度、n1 & n2は入射、透過媒質の屈折率であり、n2 sin θiは入射媒質の屈折率、n2 sin θrは透過媒質の屈折率です。 (θr = θi)とすると、第2媒質への透過角θtは、
これはすべての電磁波伝搬に当てはまるが、強度、位相変化、偏光効果など反射波と透過波の動的特性は、波の伝搬と境界条件の特異性に完全に依存している。 平面波が斜めに入射する非塗装基板の境界では、電界と磁界のベクトルは、入射面に平行（p）と垂直（s）の2つの偏光成分に分かれる。 透過偏光成分と反射偏光成分の両方を各方位について別々に計算し、それを合成することで結果として平均偏光効果を得ることができる。
p波はTM波（磁場ベクトルHが入射面に対して横）、s波はTE波（電場ベクトルEが入射面に対して横）とも呼ばれる。 これらのs偏光、p偏光に対するフレネルの反射率、透過率の式は次のようになる：
p偏光
これらの式は、入射波の振幅に対する反射、透過波の振幅の比を与える。 境界から反射して基板に透過する全エネルギーは、フレネル係数の二乗になる。
フレネル係数rs 、rp、ts 、tpは入射角の関数として異なる変化をし、s波の反射率はp波より常に大きくなる。 p偏光の反射率はある角度（ブリュースター角）でゼロになる。 この角度では、フレネル反射波（rp）と屈折透過波（tp）が互いに90°の角度になり、表面に平行な振動と偏光面に垂直な電気ベクトルを持つ入射面内で平面偏光した反射光となる。 この角度は、θB = tan-1 n2 / n1 で与えられ、Ge, Si, CdTe, ZnSe, ZnS ではそれぞれ 76.0°, 73.6°, 69.5°, 67.4°, 65.6° の角度であった。
基板光学理論
- はじめに
- 吸収・消衰係数理論
- 損失なし非干渉内部反射
- 非干渉多重内部反射
- 低減基板-
- 低減基板-
- 低減基板-
- 低減低減低減多重内部反射
- 入射角効果
- 内部全反射
- 内部多重反射のコヒーレンス
低減基板-低減基板温度効果
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